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该真空导入器产品采用高品质的焊接波纹管,保证十万次以上的循环使用,轴向驱动力可达到150N,在保证超高真空密封的同时,通过手动调节手轮(或电机驱动),实现高精度的直线驱动,精确位置控制,安装角度自由;根据客户要求,可以制作各种驱动长度。有波纹管内置型、波纹管外置型和中空型三种结构,客户根据使用要求选用。
主要参数
适用范围:
105~5x10-7Pa
真空漏率:
≤1x10-10Pa.m3/s
适用温度:
-30~300℃
驱动方式:
手动
驱动方向:
直线
安装状态:
任意方向
连接方式:
CF法兰或客户指定
主要零件材料
焊接波纹管
316L
刻度圆柱
304
进给刻度盘
LV12阳极化
订货型号
接口法兰
驱动距离(mm)
精度(mm)
L(mm)
R/E(mm)
A(mm)
B(mm)
C(mm)
D(mm)
K(mm)
LMF-N-CF35-50
CF35
50
0.02/0.01
130
56/106
34
70
47
M4X10
24
LMF-N-CF35-100
100
180
76/176
LMF-N-CF35-150
150
230
96/246
根据客户要求,可以制作各种驱动长度
驱动距离S(mm)
L
(mm)
A
(mm)
B
C
MD x K
LMF-S-CF16-50
CF16
184
11
45
M5x12
LMF-S-CF16-100
255
LMF-S-CF35-50
156
12
M6x12
LMF-S-CF35-100
LMF-S-CF35-150
310
R/E(mm)
LMF-Z-CF16-50
0.02
83/133
64
195
16
20
LMF-Z-CF16-100
105/205
265
LMF-Z-CF35-50
85/135
101
190
122
35
15
LMF-Z-CF35-100
260
LMF-Z-CF50-50
CF50
90/140
116
192
151
LMF-Z-CF50-100
110/210
262
LMF-Z-CF63-50
CF63
101/151
218.5
63
LMF-Z-CF63-100
121/221
289
LMF-Z-CF100-50
CF100
112/162
250
256
21
根据客户要求,可以制作各种接口及驱动长度
产品名称:精密负载真空直线导入器
产品类别:机械及行业设备/金属加工